• 各種材料（金属、半導体、コンクリート、セラミックス、高分子）、地質鉱物など、₅B ～ ₉₂U  までの元素測定が可能です。
• WDXを搭載しており、定性分析の検出下限は約0.05％程度です。（測定元素や測定条件により変動）
• エネルギー分解能が高く、微量元素も高精度で分析が可能です。
• 最小測定範囲：2µmから測定が可能で、局所的な情報を得ることが出来ます。
• 面分析に対応しており、各元素の分布を測定するマッピング分析が可能です。

　試料に電子線が照射されると、試料を構成する原子の内核電子を弾き飛ばし、外殻の電子が内殻に落ち込みます。その際、軌道間のエネルギー差を埋めるために放出されるX線を特性X線と呼びます。試料より発生した特性X 線は、ブラッグの法則に従い分光結晶で回折し、検出器のスリットに集光されます。そのエネルギー値を読み取る事で元素分析を行うことが出来ます。

　一般的にEPMAはWDXを搭載しており、1つの検出器で1元素しか測定することが出来ません。WDXは、分析点（電子線の照射位置）、分光結晶、検出器が常に同一円周上（ローランド円）に存在する必要があり、3つの位置関係が崩れてしまう凹凸のあるような試料は測定が出来ません。正確な測定を行うためには「測定面の平滑性」が重要となります。

　凹凸のある試料も表面研磨し、平滑面を作ることで測定が可能になります。写真は劣化したコンクリートの研磨片です。脆く、崩れやすい試料も樹脂包埋し、研磨紙の粒度を細かく変えていく事で鏡面仕上げをすることが可能です。一部の試料については表面研磨に対応しておりますので、お気軽にご相談ください。

　EPMA分析では、試料面を微小区画に分け、1つの区画について分析する点分析、一定面積内の複数区画について分析する面分析（元素マッピング分析）、線上に並ぶ区画を分析する線分析を行うことが出来ます。

点分析 　　　　　　　　　　　面分析 　　　　　　　　　　   線分析 

①点分析

定性分析
　試料に電子線を照射した際に発生する特性X線は、元素固有のエネルギーを持っています。そのため。そのエネルギーを読み取る事で、試料の元素組成を分析することが出来ます。これを定性分析と言います。₅B ～ ₉₂U までの元素測定が可能で、測定する元素にもよりますが、検出下限は約0.05％程度です。

定量分析
　含有量が既知の試料の測定強度と未知試料の強度を比較し、含有量を推定することを定量分析と言います。装置には各元素の感度曲線データが格納されており、簡易的に定量値を算出することが出来ます。また、標準試料を用いて検量線を作成することで、より詳細な定量分析を行うことが可能です。試料中に数%以上含まれる主成分であれば、定量精度は1～2％程度、検量線法であれば0.1％程度となります。（測定元素や測定条件により変動します）

②面分析（元素マッピング分析）

　定性分析により一定範囲の試料の元素組成を把握すると共に、各元素がどのように分布しているかを知る分析方法です。元素マッピング分析は、元素ごとに色分けをし、その濃度を色の濃淡で表現するため、濃度の二次元分布を視覚的に捉えやすくなります。2μm×2μmの微小領域から80mm×80mmの広範囲領域までのマッピング分析が可能です。

③線分析

　面分析同様、試料の一定範囲を直線的に定性分析し、含まれる元素とその分布を知る分析方法です。2μm～80mmの領域で分析が可能です。

お困り事やご興味のある方、まずはお気軽にご相談、ご質問ください。

※試料の性状、測定元素、研磨片の大きさなどによって価格は変更となります。